3D Metrology Congress dispone del Poster Caracterización de sensores de fase de frente de onda by Wooptix
3DMC se celebró en Bilbao del 26 al 28 de septiembre
Madrid octubre 2023. Wooptix, uno de los referentes en metrología de semiconductores mediante imágenes de fase de frente de onda, estuvo presente hace unos días en el prestigioso Evento de Metrología en 3D, 3DMC, el cual celebró en Bilbao su 8ª edición.
La organización de 3DMC comunicó así la presencia en el País Vasco. “Para nuestro octavo evento hemos trabajado con nuestros socios del País Vasco, quienes nos invitan a utilizar sus excelentes instalaciones y explorar Bilbao. Sus instalaciones ofrecen un lugar de primera clase para presentaciones, debates y demostraciones, así como la oportunidad de recorrer sus laboratorios y talleres de última generación. Además, Bilbao garantizó un evento memorable para romper el hielo”.
El programa contó con una sesión de “Romper el Hielo” el martes día 26, donde se llevó a cabo la presentación de Posters Científicos. Durante dicha sesión, Wooptix presentó “Caracterización de sensores de fase de frente de onda mediante el uso de un espejo piezoeléctrico deformable con resolución de nanómetros”.
Poster Abstract (Resumen)
El resumen del Poster del Wooptix, dice así: “El proceso de caracterización de un sensor de detección de frente de onda (WFS) no es estandarizado, hay muchos factores que afectan la viabilidad del proceso. Wooptix propone un procedimiento bien definido para estimar el comportamiento de los sensores de frente de onda mediante la utilización de un espejo deformable piezoeléctrico (DM)».
Y continúa: “Varios factores dependen de la configuración del sensor, como la longitud de onda, la sensibilidad, la exactitud, la precisión y la gama dinámica. Este estudio demuestra cómo utilizar la resolución nanométrica de espejos deformables para caracterizar diferentes Sensores de Frente de Onda y poder estimar el estándar, así como la desviación de los materiales en estudio. En este caso, la variabilidad del espejo deformable».
Wooptix y la Tecnología Frente de Onda
Tal y como puntualiza el Poster, “Wooptix está desarrollando tecnologías de campo luminoso (Ligth Field Technologies) para soluciones de imágenes avanzadas, que proporciona una tecnología de medición superior, incluso en entornos desafiantes como el modelado de objetos transparentes. Para este fin, se requiere conocimiento de la estructura del frente de onda. De ahí, el trabajo y la Familia de Patentes de Wooptix, en Wavefront Phase Imaging (WFPI)”.
Conclusiones del estudio
El paper “Characterization of wavefront phase sensors by using a piezoelectric deformable mirror with nanometric steps” ilustra el proceso de prueba para diferentes sensores de frente de onda, lo que permite evaluar las métricas en condiciones consistentes.
Para evaluar la adaptabilidad de los sensores a una variedad de casos de uso, es esencial incluir especificaciones de prueba detalladas en la documentación.
Ambos sensores se caracterizaron con éxito alcanzando en el estuche de la cámara Wooptix una precisión de 25 nm y una precisión de 9 nm, y una precisión de 34 nm y una repetibilidad de 15 nm para el sensor.
Acerca de Wooptix
Wooptix es un referente en metrología de semiconductores mediante imágenes de fase de frente de onda, una técnica derivada de la investigación de óptica adaptativa en astronomía. Con un equipo multidisciplinario, Wooptix tiene como objetivo revolucionar la industria de la metrología de semiconductores con la resolución lateral más alta y la técnica de medición más rápida para mediciones de fábricas en línea.
La compañía ha desarrollado Phemet®, una herramienta de medición de obleas de silicio, que es la versión previa a la siguiente herramienta de fabricación totalmente automatizada, que se espera para 2024. Wooptix ya ha implementado Phemet® en varios sitios de clientes en todo el mundo.
Wooptix tiene su sede en Tenerife, Madrid (España) y San Francisco (EE.UU.).
